宣城3200平晶圓制造生產(chǎn)車間凈化工程方案分享
來源：www.weihaifenghui.cn 作者：空氣好凈化
發(fā)布時(shí)間:2025-07-14 16:01:30點(diǎn)擊:次
本晶圓車間采用賽博科技未來風(fēng)設(shè)計(jì)，以鈦金銀（設(shè)備）、啞光黑（結(jié)構(gòu)框架）和霓虹藍(lán)（智能交互界面）構(gòu)成核心視覺體系，強(qiáng)化高科技產(chǎn)業(yè)屬性。
地面為導(dǎo)靜電高架地板系統(tǒng)，確保微振動(dòng)控制與管線隱蔽；墻面采用航空級(jí)鋁復(fù)合板，陽極氧化處理防靜電；頂面集成ULPA超高效過濾模塊，配合負(fù)壓梯度控制氣流。
功能布局嚴(yán)格遵循半導(dǎo)體Fab標(biāo)準(zhǔn)：黃光區(qū)采用波長(zhǎng)過濾玻璃，晶圓傳送由AMR機(jī)器人完成，中控臺(tái)配備AR監(jiān)測(cè)屏。創(chuàng)新性融入數(shù)字孿生投影墻和動(dòng)態(tài)壓差顯示系統(tǒng)，在滿足ISO14644-1Class100標(biāo)準(zhǔn)的同時(shí)，構(gòu)建具有科幻美學(xué)的尖端芯片制造環(huán)境。
